IC хар тугалганы хүрээ нь төмөр утсаар утас болон электрон эд ангиудыг холбодог хэвлэмэл хэлхээний самбар үйлдвэрлэх технологи юм.Энэ технологийг цахим төхөөрөмжид нэгдсэн хэлхээ (IC) болон хэвлэмэл хэлхээний самбар үйлдвэрлэхэд өргөн ашигладаг.Энэхүү нийтлэл нь IC хар тугалга хүрээний хэрэглээ, давуу талыг танилцуулж, IC хар тугалга хүрээний үйлдвэрлэлд фотолитографийн хэрэглээ, хэрэглээ, ашигласан материалыг судлах болно.
Нэгдүгээрт, IC хар тугалганы хүрээ нь электрон төхөөрөмжийн тогтвортой байдал, найдвартай байдлыг ихээхэн сайжруулж чадах маш ашигтай технологи юм.IC үйлдвэрлэлд хар тугалга хүрээ нь хэлхээний самбар дээрх электрон эд ангиудыг үндсэн чиптэй зөв холбосон найдвартай цахилгаан холболтын арга юм.Нэмж дурдахад, IC хар тугалгатай хүрээ нь хэлхээний самбарыг механик бат бөх, зэврэлтэнд тэсвэртэй болгодог тул хэлхээний хавтангийн найдвартай байдлыг сайжруулдаг.
Хоёрдугаарт, фотолитографи нь IC хар тугалгатай хүрээ үйлдвэрлэхэд түгээмэл хэрэглэгддэг технологи юм.Энэхүү технологи нь металл нимгэн хальсыг гэрэлд ил гаргаж, дараа нь химийн уусмалаар сийлбэрлэх замаар хар тугалганы хүрээ үйлдвэрлэдэг фотолитографийн процесст суурилдаг.Фотолитографийн технологи нь өндөр нарийвчлал, өндөр үр ашигтай, хямд өртөгтэй давуу талтай тул IC хар тугалганы хүрээний үйлдвэрлэлд өргөн хэрэглэгддэг.
IC хар тугалга хүрээний үйлдвэрлэлд ашигладаг гол материал нь металл нимгэн хальс юм.Металл нимгэн хальс нь зэс, хөнгөн цагаан, алт болон бусад материал байж болно.Эдгээр металл нимгэн хальсыг ихэвчлэн физик уурын хуримтлал (PVD) эсвэл химийн уурын хуримтлуулах (CVD) техникээр бэлтгэдэг.IC хар тугалгатай хүрээ үйлдвэрлэхэд эдгээр металл нимгэн хальсыг хэлхээний самбар дээр бүрж, дараа нь нарийн хар тугалгатай хүрээ үйлдвэрлэхийн тулд фотолитографийн технологиор нарийн сийлсэн байдаг.
Дүгнэж хэлэхэд, IC хар тугалганы хүрээ технологи нь орчин үеийн электрон төхөөрөмжүүдэд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.Фотолитографийн технологи, металл нимгэн хальсан материалыг ашигласнаар өндөр нарийвчлалтай, өндөр үр ашигтай, бага өртөгтэй хар тугалгатай хүрээ үйлдвэрлэх боломжтой.Энэхүү технологийн давуу тал нь электрон төхөөрөмжүүдийн найдвартай, тогтвортой байдлыг сайжруулж, улмаар орчин үеийн цахим технологийн хөгжилд хувь нэмрээ оруулж чаддагт оршино.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 2-р сарын 28